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        行業(yè)新聞

        可控硅圓片減薄的方法

        常用的方法:

        圓片減薄的方法有:研磨法、磨削法、化學(xué)腐蝕法。

         

        方法名稱

        方法要點(diǎn)

        特點(diǎn)

        研磨法

        將硅片正面粘在磨盤上,用金剛砂研磨,減薄硅片背面。

        減薄一致性較好,效率高,合適大生產(chǎn)。

        磨削法

        將硅片正面粘在磨盤上,用砂輪磨削,減薄硅片背面。

        減薄一致性好,效率稍低。

        化學(xué)腐蝕法

        硅片正面用樹脂、石蠟或塑料薄膜保護(hù),用酸腐蝕減薄背面。

        所需設(shè)備簡(jiǎn)單,但生產(chǎn)效率低。


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